一种圆筒形晶体退火炉
授权
摘要
本实用新型涉及晶体制备领域，更具体而言，涉及一种圆筒形晶体退火炉；提供一种采用多温度点监控、多加热器独立控制的圆筒形晶体退火炉，减小退火炉内温度梯度，实现对炉内温度的精准控制；包括炉身、炉盖、坩埚架、加热结构、保温结构、温控系统和用于支撑并驱动坩埚架伸出炉外的提升结构；加热结构包括若干独立控制的加热器，保温系统包括分别设置于加热炉丝内、外侧的内层保温结构和外层保温结构，温控系统包括数据处置设备和设置于退火炉内的若干温度传感器，数据处理设备根据温度传感器传回的数据控制分布在退火炉内的加热器进行加热，使得炉温各测温点温度趋于设定值。
基本信息
专利标题 ：
一种圆筒形晶体退火炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922128006.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-03
授权号 ：
CN211142240U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
高佑君樊海强柴晓磊
申请人 ：
山西中科晶电信息材料有限公司
申请人地址 ：
山西省运城市绛县开发区陈村（山西冲压厂西50米）
代理机构 ：
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
申绍中
优先权 ：
CN201922128006.8
主分类号 ：
C30B33/02
IPC分类号 ：
C30B33/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B33/00
单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的后处理
C30B33/02
热处理
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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