本实用新型公开一种平面度调整机构，包括底座、通过若干组调节组件安装于底座上的调节板和固定于所述调节板上的真空平台，底座上凸设有一球面凸台，调节板的下方凹设有与球面凸台配合的球形凹槽，底座与调节板之间具有间隙，每一组调节组件均包括一个与底座和调节板旋接用以调节底座和调节板治之间距离的定位顶丝和至少一个邻近定位顶丝的紧固螺丝，紧固螺丝穿过调节板与底座的上表面抵接。采用本实用新型的平面度调整机构可以节约人工调试时间，提升平面度调节效率，提高两个贴合平面之间的平行调整精度，从而提高产品良率。