一种多头激光刻蚀设备
授权
摘要
本实用新型涉及激光刻蚀技术领域，具体公开了一种多头激光刻蚀设备。该多头激光刻蚀设备包括激光器、导光系统、多个六自由度平台和位置检测机构，激光器能够发射激光；多个激光头分别与激光器连通，用于刻蚀待刻蚀件；六自由度平台与激光头一一对应设置，并位于激光头的下方，六自由度平台用于承载待刻蚀件，并能够调节待刻蚀件的位置；位置检测机构与激光头一一对应设置，并位于激光头的一侧，能够检测待刻蚀件的位置。本实用新型提供的多头激光刻蚀设备通过位置检测机构可以检测多个六自由度平台上承载的PI膜与激光器的相对位置是否一致，若位置不一致，则通过相应的六自由度平台调节PI膜的位置。
基本信息
专利标题 ：
一种多头激光刻蚀设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922146160.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-04
授权号 ：
CN211072263U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
孙杰张璞梁庆文
申请人 ：
苏州铂煜诺自动化设备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市玉山镇玉城北路189号5号房
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201922146160.8
主分类号 ：
B23K26/362
IPC分类号 ：
B23K26/362 B23K26/70
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
B23K26/36
除掉材料
B23K26/362
激光刻蚀
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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