气体分配管路系统及气体分配阀箱
授权
摘要
本实用新型提供一种气体分配管路系统及气体分配阀箱，气体分配管路系统包括：主管路及若干条用气管路，主管路向各用气管路中输送制程气体；氮气吹扫管路，与各所述用气管路相连通；抽负压单元，与各用气管路均相连通，用于对各用气管路进行抽负压。本实用新型的气体分配管路系统及气体分配阀箱，通过氮气吹扫管路及抽负压单元，通过多次氮气吹扫及抽负压达到将管路中气体抽净功能，特别是将有毒有害气体抽净，另外，扩充口管路增设压力监控，可根据压力表显示值评估拆装风险。
基本信息
专利标题 ：
气体分配管路系统及气体分配阀箱
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922147379.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-04
授权号 ：
CN211450364U
授权日 ：
2020-09-08
发明人 ：
陈玲丽闫梦晗
申请人 ：
华润微电子（重庆）有限公司
申请人地址 ：
重庆市沙坪坝区西永镇西永路367号四楼
代理机构 ：
上海光华专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
佟婷婷
优先权 ：
CN201922147379.X
主分类号 ：
F17D1/04
IPC分类号 ：
F17D1/04 F17D3/01
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/02
用于气体或蒸气的
F17D1/04
用于气体分配的
法律状态
2020-09-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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