电极装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型提供一种镀膜设备及其电极,用于在基材表面制备薄膜,其中所述镀膜设备包括一腔体、至少一支架以及一供电装置,其中所述腔体具有一腔室,其中所述腔室适于被通入用于制备该薄膜的气体原料,其中所述支架被设置于所述腔室,其中所述支架用于支撑该基材,其中所述腔体作为正极,其中所述支架作为负极,使得所述腔室内的气体在电压作用下定向地朝向所述支架上的所述基材的方向沉积并最终在所述基材的表面形成所述薄膜,以使所述基材能够最大化数量地布置于所述支架,且满足所有的所述基材的镀膜需求。

基本信息
专利标题 :
电极装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922151788.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-04
授权号 :
CN211947215U
授权日 :
2020-11-17
发明人 :
宗坚
申请人 :
江苏菲沃泰纳米科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号
代理机构 :
宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
罗京
优先权 :
CN201922151788.7
主分类号 :
C23C16/515
IPC分类号 :
C23C16/515  C23C16/509  C23C16/517  C23C16/458  C23C16/455  C23C16/26  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/50
借助放电的
C23C16/515
采用脉冲放电
法律状态
2021-03-26 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 16/515
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
变更后 : 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214000 江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号
变更后 : 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
2021-03-09 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 16/515
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
变更后 : 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214112 江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号
变更后 : 214000 江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号
2020-11-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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