镀膜装置的门连接装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型主要提供一种镀膜装置的门连接装置,用于连接一镀膜装置中的一腔体和一腔门,其中所述镀膜装置的连接系统被活动连接于所述腔体和所述腔体以使所述腔体和所述腔门能够相对运动,更具体地,所述镀膜装置的门连接装置包括两个或两个以上连接组件,任一所述连接组件包括至少一第一连接件和至少一第二连接件,其中所述第一连接件和所述第二连接件通过销连接实现彼此连接并能够相对转动。
基本信息
专利标题 :
镀膜装置的门连接装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922153566.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-04
授权号 :
CN211947210U
授权日 :
2020-11-17
发明人 :
宗坚韩辉
申请人 :
江苏菲沃泰纳米科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号
代理机构 :
宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
罗京
优先权 :
CN201922153566.9
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56 C23C14/06
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2021-03-09 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C23C 14/56
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
变更后 : 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214112 江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号
变更后 : 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 江苏菲沃泰纳米科技有限公司
变更后 : 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 214112 江苏省无锡市新吴区梅村街道锡贤路108号
变更后 : 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区玉祁配套区东环路182号
2020-11-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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