纳米级精度压电驱动线性位移台

授权

摘要

本实用新型公开了一种纳米级精度压电驱动线性位移台，其包括基体、滑轨、驱动座、柔性质量块、压电驱动单元、位置传感器单元和粘滑摩擦组件。柔性质量块和压电驱动单元之间通过球面触头和球形凹面相配合，具有自定位功能，能有效保证受力点不偏离，降低了对于加工精度和装配精度的要求，而且相对传统点接触或平面接触方式增大了接触面积，延长使用寿命；柔性质量块上的平板桥梁部具有弹性功能，能接受一定的形变，有效消除了安装误差对平面接触的影响。另外本实用新型的整体结构简单、紧凑，体积小巧，采用粘滑方式驱动滑轨，无上下摩擦，只存在粘滑运动中的单一摩擦，有效减小了动力损耗及对其他零部件要求，工作稳定性好，适用范围广。

基本信息

专利标题：

纳米级精度压电驱动线性位移台

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922159652.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-05

授权号：

CN211405893U

授权日：

2020-09-01

发明人：

徐金林许智

申请人：

松山湖材料实验室

申请人地址：

广东省东莞市松山湖大学创新城A1栋

代理机构：

深圳市千纳专利代理有限公司

代理人：

胡坚

优先权：

CN201922159652.0

主分类号：

H02N2/04

IPC分类号：

H02N2/04