本实用新型涉及超纯水净化技术领域，且公开了一种用于超纯水净化的过滤装置，包括底座，底座的上表面固定连接有净化箱、输送泵和过滤箱，过滤箱的内壁固定连接有第一过滤网板和第二过滤网板，第二过滤网板的上表面活动连接有布袋，布袋内填充有活性炭，第一过滤网板的下表面固定连接有海绵块，过滤箱的底端外壁与输送泵的进水口固定连通，输送泵的输出端固定连通有导管，导管的顶端与净化箱的上表面固定连通，过滤箱的外壁开设有矩形通孔。本实用新型通过多层次过滤处理能够有效提高超纯水净化过滤的效果，且能够有效提高超纯水净化过滤装置维护的便捷性，杂质清理过程简便，省时省力，降低了工作人员的劳动强度。