一种直写光刻设备图形数据高速传输装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种直写光刻设备图形数据高速传输装置，包括图形显示器件、通过刚挠结合板与图形显示器件相连的数据接收处理板、通过多模光纤与数据接收处理板相连的数据转换板以及与数据转换板相连的主机。数据接收处理板包括FPGA芯片一和分别与FPGA芯片一相连的高速连接器、DLP模组、SFP+光模块和QSFP+光模块一。高速连接器与刚挠结合板的一端相连。数据转换板包括FPGA芯片二、QSFP+光模块二和PCI‑E 3.0 X8接口。FPGA芯片二分别与QSFP+光模块二、PCI‑E 3.0 X8接口相连。QSFP+光模块一通过多模光纤与QSFP+光模块二相连。本实用新型能够有效提高直写光刻设备图形数据的传输速率，进而实现图形的快速精准曝光，大幅度提高直写光刻设备单位时间产能。
基本信息
专利标题 ：
一种直写光刻设备图形数据高速传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922166167.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-05
授权号 ：
CN210924186U
授权日 ：
2020-07-03
发明人 ：
刘扬
申请人 ：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期F3楼11层
代理机构 ：
合肥天明专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
奚华保
优先权 ：
CN201922166167.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H04B10/25
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-07-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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