本实用新型属于空分装置技术领域，尤其涉及一种制取高纯度液氮的设备系统。一种制取高纯度液氮的设备系统，包括以管路依次相连的过滤器、压缩机、预冷机、分馏塔冷箱和液氮贮槽，所述预冷机与分馏塔冷箱之间还设有分子筛纯化系统，分子筛纯化系统包括两台一级纯化装置和两台二级纯化装置，两台一级纯化装置通过管路连接第一循环管，两台二级纯化装置通过第二循环管相连，第一循环管与第二循环管之间通过管路相连，所述预冷机通过管路与第一循环管相连，所述第一循环管与第二循环管分别通过管路与所述分馏塔冷箱相连。本实用新型提供了一种液氮纯度高、管路设计合理的制取高纯度液氮的设备系统。