一种微尘清洁装置
授权
摘要
本申请公开了一种微尘清洁装置,可以应用于半导体集成电路封装领域,用于清洁待封装的半导体器件,由于半导体器件在生产的过程中易受到外部微尘的污染,在封装后无法清除,微尘会影响半导体器件的产品质量,本申请通过设置吹风组件,吹风组件包括调节装置和设置在所述调节装置上的吹风头,调节装置用于在水平方向调节吹风头的位置,吹风头包括至少一个开口向下的出气管,和设置在吹风头的下方的固定组件,吹风组件用于固定位于固定组件上方且位于吹风头下方的传送带,通过固定组件固定传送带,吹风头向半导体器件表面吹风实现对微尘的清理,进而保证了半导体器件的质量。
基本信息
专利标题 :
一种微尘清洁装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922178562.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-06
授权号 :
CN211938208U
授权日 :
2020-11-17
发明人 :
魏加杰陈伟光卢凤军周崇铭
申请人 :
合肥通富微电子有限公司
申请人地址 :
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦6012室
代理机构 :
北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郭栋梁
优先权 :
CN201922178562.6
主分类号 :
B08B5/02
IPC分类号 :
B08B5/02 B08B13/00 H01L21/67 H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B5/00
利用空气流动或气体流动的清洁方法
B08B5/02
用喷气力来清洁,如吹清凹处
法律状态
2020-11-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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