太阳能电池片的无缝隙传输装置
授权
摘要
本实用新型涉及传输装置的技术领域，尤其涉及一种太阳能电池片的无缝隙传输装置。这种太阳能电池片的无缝隙传输装置包括载具、装载腔、加速段和沉积区，装载腔连接加速段，加速段连接沉积区，装载腔、加速段和沉积区内设有传输装置，载具置于传输装置上，所述装载腔两侧设有门阀一和门阀二，装载腔内设有传感器一，加速段内设有传感器二，所述沉积区底部设有位置点。通过这种无缝隙传输系统，载满硅片的载具在通过工艺腔体时，载具上第一排、末排产品不再有边缘效应，提升了硅片的镀膜或蚀刻均匀性。
基本信息
专利标题 ：
太阳能电池片的无缝隙传输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922183724.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN210805725U
授权日 ：
2020-06-19
发明人 ：
梅有明戴宝驹陈建华
申请人 ：
扬州朗日新能源科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市宝应县安宜镇贸易城一条街东首
代理机构 ：
常州市夏成专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
姜佩娟
优先权 ：
CN201922183724.5
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-06-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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