一种深紫外波段复合灵敏度光谱仪
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摘要
本实用新型涉及一种深紫外波段复合灵敏度光谱仪，解决汤姆逊诊断系统存在体积庞大、测量结果置信度较低的问题。该光谱仪中，从光谱仪输入端进入的待测信号经光谱分束镜分为两束；在透射光路中，光束经离子谱反射镜一和离子谱反射镜二反射；然后光束经离子谱准直抛物镜准直后到达离子谱光栅；经光栅色散后的光束经离子谱聚焦抛物镜聚焦于离子像面反射镜，离子谱成像椭球镜将色散后的信号聚焦成像于像面上；在反射光路中，光束经过短焦的电子谱准直抛物镜准直，然后经电子谱光栅衍射分光，经光栅色散后的光束由电子谱聚焦抛物镜聚焦于电子谱像面反射镜上；并将光束反射至电子谱成像椭球镜，电子谱成像椭球镜将色散后的信号聚焦成像于公共像面上。
基本信息
专利标题 ：
一种深紫外波段复合灵敏度光谱仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922194998.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-09
授权号 ：
CN211606906U
授权日 ：
2020-09-29
发明人 ：
闫亚东吴冰静何俊华曹宗英许瑞华
申请人 ：
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
代理机构 ：
西安智邦专利商标代理有限公司
代理人 ：
郑丽红
优先权 ：
CN201922194998.4
主分类号 ：
H05H1/00
IPC分类号 ：
H05H1/00
法律状态
2020-09-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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