一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置
授权
摘要

本实用新型属于半导体晶圆生产技术领域,尤其为一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置,包括底板和测试机主体,底板顶端的中部连接安装有旋转盘,旋转盘顶面的两侧垂直安装有轴架,两个轴架通过转轴活动连接测试机主体的底端,测试机主体包含导轨槽,导轨槽的底端垂直固定有物料放置台,物料放置台的顶面嵌合连接有压力感应器。本实用新型通过旋转盘在底板上转动,对轴架和测试机主体进行回旋,使得测试机主体能够在任意方向上进行半导体晶体凸块的测试,此外测试机主体就能够通过转轴沿着轴架进行俯仰角度的调节,对半导体晶体凸块进行第二个自由度的变换测试,也可以在测试过程中进行圆周角度和俯仰角度的调节,获得完善的测量数据。

基本信息
专利标题 :
一种半导体晶圆凸块用推拉力测试装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922195657.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-09
授权号 :
CN211235288U
授权日 :
2020-08-11
发明人 :
杨加国方鹏
申请人 :
无锡圣堂科技有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市无锡开发区44-A地块新区泰山路2号国际科技合作园B楼1A-4座
代理机构 :
南京北辰联和知识产权代理有限公司
代理人 :
王俊
优先权 :
CN201922195657.9
主分类号 :
G01N3/10
IPC分类号 :
G01N3/10  G01N3/12  G01N3/02  G01N3/06  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/00
用机械应力测试固体材料的强度特性
G01N3/08
施加稳定的张力或压力
G01N3/10
由气压或液压产生的
法律状态
2020-08-11 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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