一种半导体生产加工中废气处理系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体生产加工中废气处理系统，包括：喷淋箱，所述喷淋箱的底部左侧设置有进气管，所述进气管延伸至喷淋箱内部，且端部设置有出气管，所述出气管的两侧均匀开设有出气口，所述喷淋箱的顶部设置有喷淋机构，所述喷淋机构包括设置在所述喷淋箱顶部的水箱，除尘箱，所述除尘箱通过管道与所述喷淋箱顶部的出气口连接；燃烧箱，所述燃烧箱通过管道与所述除尘箱右端连接，本装置通过依次设置喷淋箱、除尘箱以及燃烧箱，能够对半导体生产中的废气进行有效的去除粉尘。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体生产加工中废气处理系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922206008.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-10
授权号 ：
CN211659604U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
邵新龙
申请人 ：
合肥芯物半导体材料有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市经济技术开发区合肥空港经济示范区天柱山大道西、硕放路南电子厂房A
代理机构 ：
合肥中博知信知识产权代理有限公司
代理人 ：
张加宽
优先权 ：
CN201922206008.4
主分类号 ：
B01D50/00
IPC分类号 ：
B01D50/00 F23G7/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D50/00
用于从气体或蒸气中分离粒子的组合器械
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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