本实用新型公开了一种纳米级微球粉体的制备装置，包括反应腔，所述反应腔为一密闭腔体，环境温度为50～150℃，所述反应腔内设置有第一容器和电子枪，所述第一容器由石墨制成，所述第一容器内设置有第一反应物，所述第一容器连接电流控制器的阳极，所述电流控制器的阴极连接电子枪；所述反应腔连接有第一管道和第二管道，所述第一管道通过流量控制器连接第二反应物，所述第二管道设置有调压阀，所述第二管道连接机械泵。制备装置结构简单，操作性好，可以制备纳米级微球粉体，例如氧化硅微球粉体，形成的氧化硅微球的微球粒径小，微球的真圆度好，能耗低，生产效率高，生产成本较低等优点。