一种三面导向的液体静压超精密滑台
授权
摘要

本实用新型涉及一种超精密的移动定位装置,尤其涉及一种三面导向的液体静压超精密移动滑台。采用的技术方案是:一种三面导向的液体静压超精密滑台,包括导轨座和滑台本体,导轨座的横截面呈T型,其中间设有凹槽用于安装驱动装置和位置反馈装置,滑台本体由上溜板组件、两件侧溜板组件和下溜板组件通过连接件连接安装固定而成。本实用新型的优点是:与超精密机床系统相配合,通过驱动装置和位置反馈装置的作用,可以实现三面导向的零接触式精确直线运,实现精确的位置定位。

基本信息
专利标题 :
一种三面导向的液体静压超精密滑台
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922247012.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN212793938U
授权日 :
2021-03-26
发明人 :
谷秋梅
申请人 :
姜堰经济开发区科创中心
申请人地址 :
江苏省泰州市姜堰经济开发区管理委员会姜堰大道88号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201922247012.5
主分类号 :
B23Q1/38
IPC分类号 :
B23Q1/38  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23Q
机床的零件、部件或附件,如仿形装置或控制装置;以特殊零件或部件的结构为特征的通用机床;不针对某一特殊金属加工用途的金属加工机床的组合或联合
B23Q1/00
一般构成机床外形所包括的部件,特别是较大的固定部件
B23Q1/25
可移动的或可作调整的工件或工具支承物
B23Q1/26
以与相对可动部件协同操作有关的构造为特征的;防止这些部件作相对运动用的装置
B23Q1/38
采用流体轴承或流体垫的
法律状态
2021-03-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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