一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机
授权
摘要
本实用新型公开了一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机，属于激光直写曝光机技术领域。通过提供一种无水管接头的水冷装置，解决了现有激光器中存在漏水风险导致停机的问题；进一步的，通过将激光二极管设置为上下两层，布局紧凑，减小了激光器的体积；进一步的，通过将光纤出口方向设置为与激光二极管的插拔方向平行，增大了光纤安装时的弯曲半径，减少了光纤通电后硬化导致的断裂风险；同时这种布局便于光纤的安装，提升了安装效率。
基本信息
专利标题 ：
一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922247648.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-13
授权号 ：
CN210954612U
授权日 ：
2020-07-07
发明人 ：
肖燕青王方江陈海巍程珂
申请人 ：
江苏影速集成电路装备股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市邳州市恒山路西侧
代理机构 ：
哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司
代理人 ：
彭素琴
优先权 ：
CN201922247648.X
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 H01S5/40 H01S5/024
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-07-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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