一种真空镀膜机快速冷却装置
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摘要
本实用新型涉及一种真空镀膜机快速冷却装置，包括机体、密封门、底座、导热内筒、冷却管以及固定板，机体右端转动连接密封门，机体下端固定连接底座，机体内部固定连接导热内筒且导热内筒处在密封门左端，机体环形内壁与导热内筒环形外侧之间固定连接至少四个固定板，导热内筒环形外侧缠绕呈螺旋状态的冷却管且冷却管处在机体内，冷却管贯穿固定板，该设计采用水冷方式对机体进行冷却，冷却效果好，另外导热内筒除了辅助散热的同时还能起到有效的防护保护作用，防止内部的冷却管遭到破坏，固定板的设计实现对冷却管进行稳定安装，也对冷却管进行保护。
基本信息
专利标题 ：
一种真空镀膜机快速冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922257239.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-17
授权号 ：
CN211036069U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
吴正日高雷
申请人 ：
南京李吴机电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区龙眠大道618号协众雅居15幢322室（江宁高新园）
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922257239.8
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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