一种等离子刻蚀机的匀气盘
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摘要
本实用新型公开了一种等离子刻蚀机的匀气盘，包括底盘，底盘上安装侧环，侧环顶部安装顶板，顶板上开有进气口，进气口底部安装分气盒，分气盒的内腔底部设有分散块，分散块上开有多个底通孔，分气盒的侧壁开有多个侧通孔，侧环的内壁安装稳压气囊，底盘上开有多个出气口，出气口内安装有流量调节机构。压缩气体通过进气口进入分气盒后，气体冲击在分散块上进行分散，通过侧通孔和底通孔均匀吹向底盘，压缩气体初步均匀分散后通过出气口喷出，流量调节机构根据气体流量进行调节，使得出气口内的流量趋于平衡，便于气体均匀喷出，稳压气囊内具有恒定压缩气体产生压强，进气压强产生波动时，稳压气囊对其进行稳压，确保刻蚀气体的喷出速率稳定。
基本信息
专利标题 ：
一种等离子刻蚀机的匀气盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922270966.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-17
授权号 ：
CN211350570U
授权日 ：
2020-08-25
发明人 ：
王成杰
申请人 ：
苏州合志杰新材料技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区香江路58号3幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922270966.8
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-08-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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