本实用新型公开了一种射频二氧化碳激光器用平板电极，包括平板电极，所述平板电极上且相对应放电面的面上设有第一冷却槽，且第一冷却槽与平板电极边沿处之间设有封闭环形的第一凹槽，所述平板电极嵌设于底座顶面的定位槽内。该射频二氧化碳激光器用平板电极通过在平板电极的不用于放电的一面设置第一冷却槽和第一凹槽，安装时将平板电极嵌入底座的定位槽内，使得第一冷却槽和第二冷却槽构成完整的冷却流道，且将冷却流道设为S形结构，增加冷却液与平板电极之间的接触面积，并且第二冷却槽的端部与位于底座两端处的冷却液连接管连通，实现冷却液的循环流动，同时第一凹槽和第二凹槽配合构成密封槽，并通过密封槽内部的密封圈实现防渗漏功能。