本实用新型具体涉及一种芯片冲洗台废水收集装置，包括壳体，所述壳体上端设有进水口，所述接水漏斗内部水平设有过滤塞，所述接水漏斗的正下方设有过滤层，所述过滤层下端设有竹纤维过滤层，所述驱动电机输出轴贯穿安装板上端安装有过滤部件，所述过滤部件上端设有矩形板搅拌杆，所述污水管贯穿安装板设有止回阀，所述水管另一端安装有设有抽水机，所述抽水机右侧设有臭氧发生器，所述消毒腔底部设有排水泵与微型曝气机，所述蓄水池右侧壁开设有贯穿壳体出水口，通过抽水机与止回阀的设置，有利于对搅拌过滤后水的抽取，防止过滤后的水回流造成二次污染，通过臭氧发生器与微型曝气机的设置，便于对过滤的水进行消毒处理，有利于水的二次利用。