本实用新型公开了一种芯片冲洗用水循环利用装置，包括第一方筒，所述第一方筒的两端均焊接有第一方转圆接头，右端第一方转圆接头连接有止回阀，所述止回阀的另一端连接到加热器，所述第一方筒的上侧安装有三个贯穿的净化组件，所述净化组件包括矩形的盒体，所述盒体的上端焊接有矩形的安装板，所述盒体左右侧壁上分布有圆形的网孔，所述安装板的中部设有与盒体内腔连通的矩形孔，所述加热器包括第二方筒和第二方转圆接头，所述第二方筒的上侧安装有贯穿的接线座，所述接线座下端安装有若干个加热管。本装置对冲洗废水有效的净化，净化处理后的去离子水可循环使用，提高资源利用率，降低生产成本。