本实用新型公开了一种清洗机烘箱吹气装置，包括箱体，所述箱体为前后贯通四周封闭设置，所述箱体中滑动连接有置片篮，所述置片篮的上端侧壁等间距焊接有四个相互平行的凸楞，且两两凸楞之间形成置片区，所述箱体的前后侧壁对称设有横向设置的固定板，所述固定板的前侧侧壁上开设有横向设置的T型滑槽，所述T型滑槽中滑动连接有与其相匹配的T型滑块，所述T型滑块的一侧侧壁上焊接有横向设置的移动块，所述移动块中与T型滑块同一侧侧壁上焊接有齿条。本实用新型涉及清洗机辅助设备技术领域，该清洗机烘箱吹气装置可以有效对硅片表面的水珠进行风干处理，避免产生水印片，保证硅片一次的合格率。