一种用于晶硅的清洁机构
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及一种用于晶硅的清洁机构,属于晶硅加工设备领域,包括相对设置的两挡板,两挡板之间沿着晶硅的输送方向上依次设有喷雾清洗装置、擦拭装置、粘附装置和去静电装置,晶硅经过喷雾清洗装置喷洒清洁剂,再经擦拭装置进行擦拭,最后经去静电装置对晶硅进行表面去离子操作达到清洁晶硅底面的效果,且在挡板上设置安装孔,便于更换所述粘附装置,快换组件便于下滚筒的快速安装和更换,设计巧妙、结构紧凑,清洁效果良好、清洁效率高,便于晶硅底面清洁的自动化操作。

基本信息
专利标题 :
一种用于晶硅的清洁机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922287888.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-18
授权号 :
CN211757138U
授权日 :
2020-10-27
发明人 :
王鹏朱佰庆李璐仇健张毅
申请人 :
青岛高测科技股份有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
代理机构 :
北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
郭智
优先权 :
CN201922287888.2
主分类号 :
B08B3/02
IPC分类号 :
B08B3/02  B08B3/08  B08B1/02  B08B7/00  B08B13/00  H05F3/06  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/02
用喷射力来清洁
法律状态
2022-05-24 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 3/02
登记生效日 : 20220511
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 青岛高测科技股份有限公司
变更后权利人 : 乐山高测新能源科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 266114 山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
变更后权利人 : 614800 四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号101幢1-2层
2020-10-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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