玻璃晶圆抛光机
授权
摘要

本实用新型涉及玻璃晶圆加工领域,过来一种玻璃晶圆抛光机。该抛光机的顶板和底板之间设置有抛光切换转盘,抛光切换转盘上对称设置有至少两个转轴,各转轴上分别设置有抛光头,抛光切换转盘转动连接于下压轴上,下压轴连接于顶板和底板之间,并且下压轴设置有下压机构;抛光切换转盘的投影与抛光盘部分重叠;顶板上安装有驱动机构,驱动机构下方连接有主动齿轮,抛光头的转轴上设置有从动齿轮,当抛光头旋转至重叠范围进行抛光时,该抛光头的从动齿轮与主动齿轮相啮合。该玻璃晶圆抛光机在一个抛光头上的晶圆进行抛光时,另外的抛光头可以进行晶圆的取出和安装,节约了停机取放晶圆的时间,从而大大提高了抛光的效率。

基本信息
专利标题 :
玻璃晶圆抛光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922301404.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-18
授权号 :
CN211439504U
授权日 :
2020-09-08
发明人 :
蔡星周王文君穆俊宏奉建华张继华
申请人 :
成都迈科科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市高新区西芯大道4号创新中心D136号
代理机构 :
成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
李鹏
优先权 :
CN201922301404.5
主分类号 :
B24B37/10
IPC分类号 :
B24B37/10  B24B37/30  B24B37/34  B24B27/00  B24B47/12  B24B57/02  B24B47/22  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2020-09-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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