批量工艺气体净化系统
授权
摘要
本实用新型描述批量工艺气体净化系统，其包含适于在容器的外表面处使用例如气体流的一定体积的气体以在再装填步骤期间、在再装填步骤之后的冷却步骤期间或两者期间控制容器内部的温度的系统。
基本信息
专利标题 ：
批量工艺气体净化系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922308264.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN212663100U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
M·施洛特贝克D·P·莫菲
申请人 ：
恩特格里斯公司
申请人地址 ：
美国马萨诸塞州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
李婷
优先权 ：
CN201922308264.4
主分类号 ：
B01D53/00
IPC分类号 ：
B01D53/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D53/00
气体或蒸气的分离；从气体中回收挥发性溶剂的蒸气；废气例如发动机废气、烟气、烟雾、烟道气或气溶胶的化学或生物净化
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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