一种臭氧气源供应系统

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摘要

本实用新型公开了一种臭氧气源供应系统，涉及氧化硅薄膜的制备，包括有臭氧发生器、尾气处理系统、储存瓶、反应室，氧气通过主管路在V1阀的控制下通入臭氧发生器，臭氧发生器产生的臭氧通过V2阀通入超纯水的储存瓶，所述储存瓶外装有液位感应器，V3阀一端管路接通储存瓶，另一端管路接通主管路，V5阀设置V2阀、V3阀之间的主管路上，臭氧与高纯水混合后一同通入反应室，所述尾气处理系统通过V6阀与主管路接通，为了对主管路进行高压保护。本实用新型工艺时间短、薄膜质量高、有效提升单机产能，提升电池效率。臭氧气体通源管路直接和水蒸汽结合在一条管路上，可携带供应也可单独供应气源控制方便。

基本信息

专利标题：

一种臭氧气源供应系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922309442.5

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-20

授权号：

CN211716246U

授权日：

2020-10-20

发明人：

陶俊石烨炜薛帅陈磊孔祥才

申请人：

无锡琨圣科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市新吴区锡贤路106号

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

汤东凤

优先权：

CN201922309442.5

主分类号：

F17D1/02

IPC分类号：

F17D1/02 C01B13/11 C01B33/12