一种密齿立式石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种密齿立式石英舟，包括第一端板、第二端板、上开槽棒、下开槽棒、固定柱、连接板、定位孔，所述第一端板与第二端板之间焊接有上开槽棒、下开槽棒，所述上开槽棒、下开槽棒两侧固定焊接有固定柱与第一端板、第二端板固定焊接，所述固定柱位于第一端板、第二端板两侧，所述上开槽棒、下开槽棒上固定焊接有连接板，所述第一端板上开有120度的豁口，豁口深度4‑5mm，所述第二端板一侧开有定位孔，所述定位孔下固定开有通孔，通孔为腰型孔结构，所述通孔与定位孔垂直，且相互贯通。
基本信息
专利标题 ：
一种密齿立式石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922315395.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-21
授权号 ：
CN212136403U
授权日 ：
2020-12-11
发明人 ：
张忠恕王连连赵鹤陈强于洋冯继瑶张娟边占宁孙云涛李宝军张连兴王建立
申请人 ：
北京凯德石英股份有限公司
申请人地址 ：
北京市通州区漷县镇开发区漷兴三街6号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922315395.5
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-12-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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