一种标气稀释混合装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种标气稀释混合装置，包括一内部具有气路孔的气路模块、设于气路模块一面的数路标气进气接头及一路稀释气进气接头、设于气路模块另一面的对应各路标气的数个标气开关电磁阀及一稀释气比例阀、设于气路模块顶部的质量流量控制器、设于气路模块底部的吹扫比例阀，设于气路模块侧面的气体出口接头。该装置将原有的所有气路连接通过整体的气路模块内相互相通的气路孔来实现，气路模块可采用整块金属进行加工，内部气路孔无交叉，避免污染及吸附，并且采用气路模块代替外部气路连接，降低了管路接头数量的同时减小气路中的死体积。
基本信息
专利标题 ：
一种标气稀释混合装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922324935.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-20
授权号 ：
CN211668914U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
凌伟佳李文鹏卞滨
申请人 ：
上海朋环测控技术股份有限公司
申请人地址 ：
上海市闵行区联航路1588号上计信息楼B座101室、202室
代理机构 ：
上海远同律师事务所
代理人 ：
张坚
优先权 ：
CN201922324935.6
主分类号 ：
G01N1/38
IPC分类号 ：
G01N1/38 G01N1/44
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N1/00
取样；制备测试用的样品
G01N1/28
测试用样品的制备
G01N1/38
稀释、分散或混合样品
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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