本实用新型涉及一种超精密的移动定位装置，尤其是一种光轴导向的三轴联动十字滑台。本实用新型采用的技术方案是：一种光轴导向的三轴联动十字滑台，包括两轴联动十字滑台以及与两轴联动十字滑台固定连接的B旋转轴，两轴联动十字滑台包括X轴组件和Y轴组件，X轴组件通过X轴气浮直线轴承与Y轴组件的Y轴导轨座固定连接，用于实现X轴组件和Y轴组件的联动，B旋转轴通过固定件固定安装在Y轴组件的Y轴防护板的中心，B旋转轴包括B轴主轴，所述B轴主轴的后端与驱动装置固定连接，所述驱动装置安装固定在Y轴组件的Y轴防护板的中心。本实用新型的优点是：可以实现X轴、Y轴和B轴主轴的联动，可以实现精确的位置定位。