旋转装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种旋转装置，包括：反应器，包括反应腔；石墨托盘，设置在反应腔内；支撑筒，支撑筒的一端和石墨托盘连接，支撑筒的另一端和旋转盘连接，支撑筒、石墨托盘和旋转盘围成加热腔；磁流体部件，包括固定端和空心轴，固定端的一端和反应器的底壁连接，固定端的另一端和密封板连接，空心轴通过轴承转动设置在固定端内，空心轴和旋转盘连接；加热器，设置在加热腔内，加热器固定在电极板上，电极板和电极的一端连接，电极的另一端依次穿过旋转盘的中心孔和空心轴的内腔与密封板连接。本实用新型旋转的水平度更好、稳定性高，提高了石墨托盘的使用寿命，加热均匀性好，制备的外延材料厚度均匀性好。
基本信息
专利标题 ：
旋转装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922334757.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211170961U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
向洪春陈长荣
申请人 ：
上海思擎企业管理合伙企业（有限合伙）
申请人地址 ：
上海市闵行区紫星路588号2幢14层302室
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922334757.5
主分类号 ：
C30B25/12
IPC分类号 ：
C30B25/12 C30B25/10 C30B29/36
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B25/00
反应气体化学反应法的单晶生长，例如化学气相沉积生长
C30B25/02
外延层生长
C30B25/12
衬底夹持器或基座
法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN211170961U.PDF
PDF下载
