一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构

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摘要

本实用新型公开了一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构，主补偿机构包括固定在夹板上的中心弹簧安装套，中心弹簧安装套内安装有中心弹簧，且所述中心弹簧的轴线与丝杠的轴线重合，且所述中心弹簧的一端与夹板连接，中心弹簧的另一端与中心弹簧衬环连接，丝杆靠近夹板的一端穿入所述中心弹簧安装套内并与中心弹簧衬环通过螺栓固定连接；两个所述夹板分别为向所述舟组内充气的匀流板和将所述舟组内气体抽出的抽气板。且抽气板上还安装有副补充机构。本实用新型在金属舟的两侧均设有主补偿机构，且抽气板侧设有副补偿机构可使金属舟的体积发生变化时，夹板具有一定的缓冲量，进行补偿。

基本信息

专利标题：

一种工艺炉腔室内的舟组夹紧位置补偿机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922347130.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-24

授权号：

CN210778644U

授权日：

2020-06-16

发明人：

曲广福陈福俭李岩李占贤朱凯

申请人：

大连连城数控机器股份有限公司

申请人地址：

辽宁省大连市甘井子区营城子镇工业园区营日路40号-1、40号-2、40号-3

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司

代理人：

赵淑梅

优先权：

CN201922347130.3

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/673 H01L21/687