本实用新型公开了一种半导体设备的故障排查装置，包括箱体，所述箱体的内部前端固定安装有万用表，所述箱体的前端外表面位于万用表的一侧的位置固定安装有显示屏，所述箱体的前端外表面位于显示屏的下方的位置开设有传感接口，所述箱体的下端外表面固定安装有脚垫，本实用新型所达到的有益效果是：通过在箱体的内部安装万用表与温度传感器，可以直接对半导体设备中的电流通断情况以及半导体材料的温度进行检测，方便排查出半导体设备的电流故障或者由于温度导致半导体材料出现故障，而且在箱体的下端设置储物抽屉，方便检测用传感线的整理放置，使排查装置使用时更加的方便，提高故障排查装置的使用效果。