带有减震圈的电磁透镜
授权
摘要

本实用新型涉及一种带有减震圈的电磁透镜,包括;磁轭,包括底板、与底板相对间隔设置的顶板、以及连接底板和顶板的外筒;底板设有第一通孔,底板的内壁上设置有连通第一通孔的第一内筒;顶板上设有第二通孔,顶板的内壁上设置有连通第二通孔的第二内筒,且第二内筒与第一内筒相对间隔设置;线圈,设于外筒内并套设在第一内筒及第二内筒上,线圈的底部与底板紧贴,线圈的顶部与顶板具有间隙;减震圈,设置在间隙中并套设在第二内筒上;且减震圈紧贴线圈及顶板设置。通过在线圈与顶板之间形成的间隙中设置减震圈,有效防止电磁透镜在工作中由于磁场的作用会使线圈与磁轭之间产生轻微的震动,有效保证扫描电子显微镜的成像质量。

基本信息
专利标题 :
带有减震圈的电磁透镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922352531.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN210805693U
授权日 :
2020-06-19
发明人 :
李传林陆广烈李自立姚莉
申请人 :
苏州优波光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市苏州工业园区中银惠龙大厦1幢3201室
代理机构 :
广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人 :
张培柳
优先权 :
CN201922352531.8
主分类号 :
H01J37/141
IPC分类号 :
H01J37/141  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/10
透镜
H01J37/14
磁的
H01J37/141
电磁透镜
法律状态
2020-06-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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