本实用新型公开了一种键合丝退火炉，包括轴心处可通过键合丝的玻璃管以及设置在玻璃管之外的碳化硅管，玻璃管为套管，中间为夹层，夹层端部设有保护气体入口，碳化硅管为环状，不接触地包覆在所述玻璃管之外，形成隔离腔，碳化硅管内设有环状的降温风道，降温风道端部设有冷空气入口，外侧包覆有三组感应线圈，分别设置在碳化硅管的端部、中间和尾部，感应线圈均分别连接ZVS电源，感应线圈下的碳化硅管内设有热电偶。本实用新型玻璃管和碳化硅管不接触，二者之间的隔离腔可使温度均匀分散，利于稳定退火，且便于更换石英玻璃管；在碳化硅管内设置降温风道，需要降低使用温度时，向其通入空气即可降温，无需长时间等待，提高生产效率。