有效防止尾气结晶挂壁的干法刻蚀用尾气处理装置
授权
摘要
本实用新型揭示了一种有效防止尾气结晶挂壁的干法刻蚀用尾气处理装置，包括等离子体干法刻蚀装置、连接等离子体干法刻蚀装置的气体排出口的至少一个排气管、包裹设于排气管外部的加热带、用于加热传导至加热带进行控温的温度控制器、设于排气管内用于反馈其内部温度至温度控制器的温度传感器、设于排气管外端的过滤器、以及设于过滤器后端的真空泵。本实用新型实现了在等离子体干法刻蚀尾气的处理过程中防止尾气在排气管管壁结晶，提高尾气处理效率。
基本信息
专利标题 ：
有效防止尾气结晶挂壁的干法刻蚀用尾气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922394174.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN210837648U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
杨冬野袁蕾
申请人 ：
苏州芯慧联半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市常熟市常熟高新区技术产业开发区金门路2号2幢
代理机构 ：
北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
汤东凤
优先权 ：
CN201922394174.1
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01L21/3065 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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