一种设置物料蒸汽预处理装置的微波烘干设备，包括预加湿装置、传送带、微波烘干炉，预加湿装置包括箱体、加料仓、折流板、蒸汽管网，在箱体内自上而下至少设有两个折流板，蒸汽管网包括蒸汽主管、蒸汽支管、蒸汽喷嘴，蒸汽喷嘴的蒸汽喷射方向指向折流板的自由端，本实用新型中，采用预加湿装置和微波烘干炉结合的烘干设备，预加湿装置能有效进行前期干燥，而微波烘干炉能有效进行后期干燥，更为重要的是，预加湿装置能为进入微波烘干炉之前的蔬菜补充部分水分，提高蔬菜中的水分含量，为微波干燥提供较宽的加热温度区间，该烘干设备生产的脱水蔬菜，不仅水分和微生物含量达标，而且能保持蔬菜原来的色泽、营养和风味，能耗低，效率高。