一种管式PECVD过滤装置
授权
摘要
本发明提供一种管式PECVD过滤装置，其特征在于：包括过滤桶，所述过滤桶为柱形，其中过滤桶底部安装有漏斗，漏斗的大口径一面固定在过滤桶的侧壁上，所述过滤桶内从上至下依次排列有三层过滤网，每层过滤网通过螺母固定在过滤桶的侧壁上，且最下面一层过滤网设置于漏斗的大口径之上。本发明过滤装置安装在真空泵前，过滤、收集工艺过程中产生的粉尘，减少故障发生，增加开机率，节约成本。
基本信息
专利标题 ：
一种管式PECVD过滤装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922411949.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-28
授权号 ：
CN211715292U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
刘银生陈燕玲
申请人 ：
江苏润阳悦达光伏科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922411949.1
主分类号 ：
F04B39/16
IPC分类号 ：
F04B39/16 F04B37/14
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F04
液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B
液体变容式机械；泵
F04B39/00
不包含在F04B 25/00至F04B 37/00组中或与上述组无关的专门适用于弹性流体的泵或泵送系统的零件、部件或附件
F04B39/16
过滤；除湿
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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