一种遮光板调节的检测装置

授权

摘要

本实用新型涉及一种遮光板调节的检测装置，包括若干传送带装置，相邻两个所述传送带装置之间设置有检测空间，所述检测空间处安装有检测结构，所述检测结构包括框架、照明部、拍照部及两个遮挡板，所述照明部及所述拍照部均位于所述框架内部，所述拍照部位于所述传送带装置平台上方，所述照明部位于所述传送带装置平台下方，且所述照明部位于所述拍照部的正下方，所述遮挡板安装在所述框架外部两侧，所述遮挡板位于所述拍照部的上方，其特征在于：所述框架上穿设有调节组件，所述调节组件带动所述遮挡板运动。本实用新型涉及用于硅片检测装置的技术领域。本实用新型具有提高了检测装置的精确度的效果。

基本信息

专利标题：

一种遮光板调节的检测装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922415603.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-28

授权号：

CN211150515U

授权日：

2020-07-31

发明人：

郭新民史树伟姜利国郭华明

申请人：

溧阳市腾新机电设备有限公司

申请人地址：

江苏省常州市溧阳市戴埠镇横一路1号1幢

代理机构：

北京维正专利代理有限公司

代理人：

盛天亮

优先权：

CN201922415603.9

主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/66 H01L31/18