本实用新型公开了一种用于清洁反射光栅尺的清洁装置，包括光栅尺读头、光栅尺主尺和基座，所述光栅尺主尺固定设置在所述基座的表面，所述光栅尺读头与所述光栅尺主尺之间设有间距，所述光栅尺读头朝向所述光栅尺主尺的一面设有清洁喷口和光栅传感器，所述清洁喷口的输入端通过管道连接有喷头，所述光栅传感器外接入电源信号线。本实用新型通过光栅叠栅条纹原理测量位移，在测量位移的过程中通过喷头、清洁喷口对光栅尺主尺所对应的移动位移进行清洁，其清洁效果明显，不会因为光栅尺的洁净度影响光栅尺的误读，通过本实用新型对光栅尺进行清洁，可定时为光栅尺清洁，对光栅尺信号保持良好，进而增加光栅尺的使用寿命，降低维护成本。