一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种氮气纯度高和氮气输出压力稳定的用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统。本实用新型包括依次相连接的的空压机、第一储气罐、冷干机、微热再生吸干机、第二储气罐、制氮组件、氮气储气罐组件和烤胶炉，烤胶炉内铺设有若干个石英晶体，氮气储气罐组件包括第一氮气储气罐和第二氮气储气罐，第二氮气储气罐与第一氮气储气罐之间为串联连接，第一氮气储气罐和第二氮气储气罐均与烤胶炉相连接，且第一氮气储气罐与烤胶炉之间和第二氮气储气罐与烤胶炉之间均设置有流量计。本实用新型应用于制氮系统的技术领域。
基本信息
专利标题 ：
一种用于石英晶体谐振器热处理的制氮系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922422436.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-30
授权号 ：
CN211018775U
授权日 ：
2020-07-14
发明人 ：
谢尚平吴延剑
申请人 ：
珠海东精大电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省珠海市珠海大道东段北侧南屏科技工业园绿园路3号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922422436.0
主分类号 ：
H03H3/02
IPC分类号 ：
H03H3/02 G05D27/02 C01B21/04
法律状态
2020-07-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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