本实用新型公开了一种氟利昂制冷剂深度回收装置，该深度回收装置关键设备由其空泵和压缩机串联而成。可以直接连接在原在役的初步回收装置的一侧，通过阀门的转换开关，可以由初步回收装置的运行状态切换到深度回收装置的运行状态。现有在役初步回收装置回收作业后一次性包装钢瓶内的残余气体气压为约‑0.01Mpa(表压)左右，而经深度回收装置回收作业后一次性包装钢瓶内的残余气体气压为约‑0.09Mpa(表压)，明显减少了残余制冷剂的放空量。