跟踪步进式多级抽真空系统
授权
摘要
一种跟踪步进式多级抽真空系统,包括主抽真空部分,主抽真空部分包括主抽真空泵和用于连接主抽真空泵与工件的真空管,在真空管的管路中设有控制阀,以及在真空管的自由端设有用于与工件连接的连接头,还包括预抽真空部分,预抽真空部分包括预抽真空泵和预抽真空连接部,预抽真空连接部的一端与预抽真空泵连接,预抽真空连接部的另一端通过预抽真空控制阀与控制阀和连接头之间的管道连接;预抽真空连接部设在跟踪器上,预抽真空泵工作时,预抽真空连接部与工件同步运动;工作结束后,预抽真空连接部随着跟踪器返回起始端。本实用新型可以将转盘的直径做得更小,也不会产生在每套支管的工件进入抽真空环境时,对其它的支管的真空度破坏严重,整体真空度波动较大的问题。
基本信息
专利标题 :
跟踪步进式多级抽真空系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922458098.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-30
授权号 :
CN211819838U
授权日 :
2020-10-30
发明人 :
朱海啸房传球唐兴顶吴海波朱子天
申请人 :
东莞市天美新自动化设备有限公司;深圳市天美新科技有限公司;湖北天美新机械设备有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市桥头镇桥新西二路2号C栋
代理机构 :
深圳市金笔知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
胡清方
优先权 :
CN201922458098.6
主分类号 :
F04B37/14
IPC分类号 :
F04B37/14 F04B41/06 F04B39/12 F04B39/10
相关图片
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F04
液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B
液体变容式机械;泵
F04B37/00
专门适用于弹性流体的并且其相关特征不包含在F04B 25/00至F04B 35/00组中或与上述各组无关的泵
F04B37/10
用于特殊用途
F04B37/14
获得高真空
法律状态
2020-10-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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