一种抛光转盘驱动装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种抛光转盘驱动装置，其包括驱动机构、转盘和机架，其中，驱动机构包括主轴和与主轴的下端相接的驱动电机，驱动电机能驱动主轴转动；转盘连接于主轴的上端并能与主轴同步转动，转盘的底面沿周向连接有至少四个间隔设置的滑块；机架上连接有支撑环板，支撑环板上设有呈圆环形的轨道，滑块连接于轨道上并能沿轨道滑动。本实用新型的抛光转盘驱动装置，通过滑块与轨道的配合，既能使得转盘顺畅的转动，又能确保转盘在转动过程中的稳定性，从而保证了随转盘同步转动的抛光头的稳定性，进而使得硅片的抛光厚度能均匀，良品率更高。
基本信息
专利标题 ：
一种抛光转盘驱动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922458412.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211867480U
授权日 ：
2020-11-06
发明人 ：
杨兆明颜凯中原司
申请人 ：
浙江芯晖装备技术有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市海宁市海宁大道8号海宁科技绿洲1号楼105室
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘金凤
优先权 ：
CN201922458412.0
主分类号 ：
B24B41/047
IPC分类号 ：
B24B41/047 B24B37/04 B24B55/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/04
床头箱；工作主轴；其有关特征
B24B41/047
用于加工平面的磨头
法律状态
2020-11-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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