卤素气体定值漏率标准器

授权

摘要

本实用新型公开了一种卤素气体定值漏率标准器，包括标准器本体，所述标准器本体内设置有储气罐，且标准器本体的正面设置有压力表和放气嘴，所述储气罐与一级调压阀连通，且一级调压阀与二级调压阀连通，且二级调压阀与放气嘴连通；通过设置一级调压阀、二级调压阀和压力表，压力表可以检测一级调压阀和二级调压阀之间的压力，且可以通过控制一级调压阀和二级调压阀的调节方式，而控制一级调压阀和二级调压阀之间的压力，当一级调压阀与二级调压阀被调节时，第二管道内的气体压力会发生改变，通过设置漏料元件，漏料元件可以计算第三管道内气体排出的量，让工人可以根据气体流量和压力表检测的数值结合，从而可以进行周期性校准卤素气体定值漏率。

基本信息

专利标题：

卤素气体定值漏率标准器

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922460356.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-30

授权号：

CN211785408U

授权日：

2020-10-27

发明人：

王金朋姜伟

申请人：

上海东贝真空设备有限公司

申请人地址：

上海市青浦区崧泽大道9959号6幢

代理机构：

代理人：

优先权：

CN201922460356.4

主分类号：

G01N33/00

IPC分类号：

G01N33/00 G01M3/00