一种超薄液膜旋离式汽化装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种超薄液膜旋离式汽化装置，其解决了现有汽化装置镀膜气相不均匀，不易彻底汽化，汽化装置大，效率不高的技术问题，其包括筒体、物料预热装置、载气加热装置、混合装置和供热装置，所述筒体的内部设有刮板和刮板支撑端盖及密封盖，支撑端盖内部设有油加热管，所述筒体的前端通过顶部物料进口和侧面载气进口分别与所述物料预热装置和所述载气加热装置相连接，所述筒体的后端通过尾部混合汽出口和筒体进出油口分别与所述前驱体原料混合汽混合装置和供热装置相连接。本实用新型可广泛应于镀膜玻璃用前驱体原料的超薄液膜汽化。
基本信息
专利标题 ：
一种超薄液膜旋离式汽化装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922481523.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211689230U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
赵年伟王道德袁曙光刘起英孔繁华曹涯雁张永杰史国华房振华连超李成养
申请人 ：
威海中玻新材料技术研发有限公司
申请人地址 ：
山东省威海市临港经济技术开发区草庙子镇棋山路-516-39号
代理机构 ：
北京怡丰知识产权代理有限公司
代理人 ：
于振强
优先权 ：
CN201922481523.3
主分类号 ：
C23C16/448
IPC分类号 ：
C23C16/448 C23C16/40 C03C17/245
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/448
产生反应气流的方法，例如通过母体材料的蒸发或升华
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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