一种多探头扫描成像系统
专利权的保全及其解除
摘要
本申请公开了一种多探头扫描成像系统，该多探头扫描成像系统包括：光源单元、参考臂光路单元、样品臂光路单元、样品检测台和信号处理单元；样品臂光路单元进一步包括探头选择装置以及与探头选择装置连接的至少两个探头；光源单元产生参考光和样品光，参考光通过参考臂光路，以形成参考回光；样品光通过至少两个探头中的一个探头照射到样品检测台的待检测样品上，以形成样品回光；信号处理单元探测参考回光和样品回光干涉产生的干涉光谱，并基于干涉光谱计算待检测样品的深度信息。通过上述方法，本申请可以实现多路扫描，分时对多样品进行扫描成像。
基本信息
专利标题 ：
一种多探头扫描成像系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922497405.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211740137U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
苏胜飞
申请人 ：
深圳市太赫兹科技创新研究院有限公司;华讯方舟科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区西乡街道宝田一路臣田工业区第37栋二楼东
代理机构 ：
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
唐双
优先权 ：
CN201922497405.1
主分类号 ：
G01B11/24
IPC分类号 ：
G01B11/24 G01B11/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/24
用于计量轮廓或曲率
法律状态
2021-07-30 ：
专利权的保全及其解除
专利权的保全IPC(主分类) : G01B 11/24
申请日 : 20191231
授权公告日 : 20201023
登记生效日 : 20210630
申请日 : 20191231
授权公告日 : 20201023
登记生效日 : 20210630
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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