用于制造游丝的方法

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摘要

根据本发明的方法包括以下连续步骤：a)提供基板(1)，其在确定平面(P)中延伸并承载平行于确定平面(P)的第一层(2)；b)在第一层(2)中形成至少一个通孔(3)；c)在第一层(2)上沉积第二层(4)，第二层(4)填充该至少一个通孔(3)以形成至少一个材料桥(7)；d)在由第二层(4)或基板(l)构成的蚀刻层(6a)中蚀刻至少一个游丝(5)，第二层(4)和基板(l)中的未蚀刻该至少一个游丝(5)的一个构成支撑件(6b)，该至少一个材料桥(7)将该至少一个游丝(5)垂直于确定平面(P)地连接至支撑件(6b)；e)消除第一层(2)，该至少一个游丝(5)通过该至少一个材料桥(7)保持附接至支撑件(6b)；f)使该至少一个游丝(5)经受至少一次热处理；g)使该至少一个游丝(5)从支撑件(6b)分离。

基本信息

专利标题：

用于制造游丝的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111758077A

申请号：

CN201980013834.7

公开（公告）日：

2020-10-09

申请日：

2019-02-21

授权号：

CN111758077B

授权日：

2022-05-13

发明人：

米歇尔·德斯庞特弗雷德里克·科勒奥利维尔·汉兹克尔让-露丝·柏凯丽

申请人：

瑞士CSEM电子显微技术研发中心

申请人地址：

瑞士纳沙泰尔州

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司

代理人：

赵赫

优先权：

CN201980013834.7

主分类号：

G04D3/00

IPC分类号：

G04D3/00 G04B17/06