流体加热装置

授权

摘要

流体加热装置具备：容器，其具有外筒部件以及配置于外筒部件的内侧的内筒部件，外筒部件的内表面与内筒部件的外表面之间的流体空间被供给流体；灯加热器，其配置于内筒部件；第一喷嘴部件，其配置于灯加热器的前端侧，具有供气口；第一引导机构，其引导从第一喷嘴部件的供气口供给的第一气体。内筒部件包含在与外筒部件的中心轴正交的面内配置于外筒部件的中央的中央内筒部件和配置于中央内筒部件的周围的多个周边内筒部件。灯加热器包含配置于中央内筒部件的中央灯加热器和分别配置于多个周边内筒部件的周边灯加热器。第一引导机构向中央灯加热器的前端侧引导第一气体。

基本信息

专利标题：

流体加热装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111936799A

申请号：

CN201980023540.2

公开（公告）日：

2020-11-13

申请日：

2019-02-04

授权号：

CN111936799B

授权日：

2022-05-17

发明人：

渡边大介向顺二

申请人：

株式会社KELK

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

张思宝

优先权：

CN201980023540.2

主分类号：

F24H1/12

IPC分类号：

F24H1/12 H01L21/304